반도체 제조 장비에 발열체를 공급할 때 "충분히 좋다"는 것은 존재하지 않습니다. 이는 우리가 3년 전 일본 반도체 공급망에 처음 침입했을 때 배운 교훈입니다. 오사카에 본사를 둔 장비 제조업체 -의 최근 주문 - 3,200개 초-초정밀 카트리지 히터는 당사의 품질 시스템이 얼마나 발전했는지를 입증합니다.
이 배치의 모든 히터는 지난 금요일에 최종 검사를 통과했습니다. 하지만 이 이정표를 더욱 의미 있게 만드는 것은 고객이 자체 현장 감사를 수행하기 위해 두 명의 품질 엔지니어를 오사카에서 멀리 데려왔다는 것입니다.- 그들은 우리 시설에서 꼬박 3일을 보내며 우리의 생산 기록, 테스트 절차, 클린룸 조립 구역을 검토했습니다. 그들은 무작위로 샘플을 뽑아 자체적으로 측정을 실시했으며, 교육 및 작업 지침에 관해 일부 생산 직원과 인터뷰도 했습니다. 결국 그들은 아무런 주요 결과도 없이 승인했습니다. 일본 반도체 고객사에서는 이를 달성하기가 쉽지 않습니다.
이 히터는 정확한 온도 제어가 절대적으로 중요한 웨이퍼 본딩 공정에 사용됩니다. 약간의 오염이나 온도 편차만으로도 수만 달러 가치가 있는 전체 실리콘 웨이퍼 배치를 망칠 수 있습니다. 따라서 사양은 믿을 수 없을 정도로 엄격합니다. ±0.02mm의 직경 공차, 가열 영역 전반에 걸쳐 ±1도의 온도 균일성, 진공 조건에서 외피 재료의 가스 방출이 전혀 없습니다.
이러한 요구 사항을 충족하기 위해 당사는 모든 구성품을 조립하기 전에 청소하고 검사하는 전용 클린룸 조립 공간 - 클래스 10000 -에서 이러한 히터를 생산합니다. 스테인레스 스틸 외장은 거울 마감으로 전해연마 처리된 후 초음파로 여러 번 세척됩니다. MgO 분말은 충전하기 전에 수분을 제거하기 위해 고온에서 구워집니다. 이는 표준 카트리지 히터보다 훨씬 더 노동 집약적인 프로세스이지만{6}}결과는 그 자체로 말해줍니다.
주문은 40mm에서 100mm까지 길이가 다양하고 모두 직경이 6mm인 네 가지 구성으로 나뉩니다. 각 구성에는 고유한 부품 번호와 추적 코드가 있으므로 고객은 각 히터가 언제 만들어졌는지, 어떤 원자재 배치에서 왔는지, 누가 조립했는지 정확하게 추적할 수 있습니다.
