이 카트리지 히터는 클린룸 환경에서 최대 600도의 온도에서 지속적으로 작동해야 하는 웨이퍼 처리 장비에 사용하도록 특별히 설계되었습니다. 반도체 제조 장비 산업의 주요 업체인 일본 고객은 칩 제조에 필요한 초청정 조건을 유지하기 위해 뛰어난 열 안정성과 매우 낮은 탈기체 특성을 갖춘 히터가 필요했습니다. 당사의 기술 팀은 우수한 고온 산화 저항성과 가스 방출이 낮은 특수 산화마그네슘 절연 등급으로 선택된 스테인리스강 310S 외장재를 갖춘 맞춤형 설계를 개발했습니다.-
이러한 고온-히터의 생산에는 여러 가지 특수 공정이 필요합니다. 고순도-철-크롬-알루미늄 합금으로 제작된 저항선은 정밀한 피치 제어로 감겨져 가열 길이 전체에 걸쳐 균일한 발열을 보장합니다. 감긴 어셈블리는 310S 스테인레스 스틸 튜브에 삽입되며, 가스 방출에 기여할 수 있는 표면 오염 물질을 제거하기 위해 특수 내부 연마 공정을 거칩니다. MgO 충진 공정은 습기 흡수를 방지하기 위해 통제된 습도 환경에서 이루어지며, 이로 인해 고온 작동 중에 가스 방출이 발생할 수 있습니다.- 충전 후 튜브를 스웨이징하여 필요한 압축 밀도를 얻은 다음 진공로에서 고온 어닐링 공정을 거쳐 잔류 수분을 제거하고 내부 구조를 안정화합니다.
